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BALORA HALONA

BALORA HALONA Hervorragender Korrosionsschutz für langlebige Halbleiterleistung

Halbleiter-Ätzkammer-Bauteil

BALORA® HALONA ist eine PVD-Beschichtung, die für anspruchsvolle Plasmaätzprozesse entwickelt wurde. Sie bietet außergewöhnliche chemische Beständigkeit und Abriebfestigkeit – und erfüllt damit die Anforderungen der heutigen und zukünftigen Halbleitertechnologie.

  • Entwickelt, um nahezu unbeeinflusst von Fluor-Plasma-Chemien zu bleiben
  • Ideal für Ätzprozesse unter 10 nm – sowohl bei planaren als auch komplex geformten Kammerkomponenten
  • Gewährleistet geringe Partikelbildung, verlängerte Lebensdauer der Komponenten, hohe Ausbeute und reduzierte Betriebskosten (CoO)
  • 100 % dichte PVD-Beschichtung für maximale Performance
Kontakt

Oerlikon Balzers Coating Austria GmbH; Burgstallweg 27, 8605 Kapfenberg, Österreich

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