Y₂O₃ proporciona una excelente resistencia a la corrosión ante productos fluorados. Entre las ventajas se incluye un nivel bajo de CoO y una baja contaminación metálica.
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Componentes de cámara de ataque ácido
| Solución | Material de recubrimiento | Tecnología de recubrimiento | Dureza recubrimiento HIT [GPa] | Coeficiente de fricción (en seco) frente al acero | Temp. máx. de trabajo [°C] | Temperatura de proceso [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| YOF | Magnetron PVD | ~ 12 | ~ 0.6 | > 1000 | < 250 |
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