Die DOMINO pica ist eine kleine, kompakte PVD-Anlage und ist ausgelegt für schnelle, kurze Prozesse. Sie dient besonders zum Beschichten von Kleinteilen aus unterschiedlichen Industrien mit kleinen Chargen bis hin zu einigen 100 Werkzeugen und besticht trotzdem durch eine flexible Technologiebestückung.
- Schnelle und kurze Chargenzeiten von 2-4 Stunden
- APA Arc, HiPIMS-Sputtern oder Hybrid-Technologie
- Kombination auch mit PACVD und Nitrierprozess
- Kleine kompakte Anlage für PVD Startups mit Turnkey-Konzept von Oerlikon Balzers
| Eigenschaften | DOMINO pica |
|---|---|
| Anlagentyp | compact (1 Kammertür) |
| Verwendbares Beschichtungsvolumen | Ø 330 mm x 300 mm |
| Erhältliche Beschichtungsmodule | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| ARC-Verdampfer | 2 bis 6 |
| Magnetron-Sputterquellen | 1 bis 3 |
| Verfügbare Leistungsversorgungen | DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS, (HF auf Anfrage) |
| Verfügbare BIAS | bipolar gepulst, Mittelfrequenz |
| Plasma-Ätzen | Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet |
| Standard Substrattisch (weitere auf Anfrage) |
5 Spindeln |