Die DOMINO giga flex ist der Gigant unserer PVD-Anlagen. Teilegrößen bis zu 3 Tonnen Gewicht und 1,5 m Höhe können genauso effektiv beschichtet werden, wie Serienprodukte aus der Automobilindustrie mit niedrigen Stückkosten.
Die Anlage produziert APA-Arc-Schichten und Magnetron-Sputter-Schichten mit der neuen Ätztechnologie ADVANCED AEGD und lässt sich als Kombinationsanlage für Arc und Sputtern, z. B. für dekorative und andere Anwendungen, aufrüsten.
- APA Arc Technologie mit bis zu 4 Flanschen und/oder Magnetron Sputtern
- Beladungen von bis zu 3 Tonnen und Bauteile von 1200 mm Durchmesser
- Neue Ätztechnologie ADVANCED AEGD
- Nachrüstung mit Nitrier- und Sputter-Technologie möglich
- Niedrigste Stückkosten bei voller Beladung
| Eigenschaften | DOMINO giga flex |
|---|---|
| Anlagentyp | flex (2 Kammertüren) |
| Verwendbares Beschichtungsvolumen | Ø 1,200 mm x 1,500 mm |
| Erhältliche Beschichtungsmodule | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| ARC-Verdampfer | 8 bis 32 |
| Magnetron-Sputterquellen | 1 bis 4 |
| Verfügbare Leistungsversorgungen | DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS, (HF auf Anfrage) |
| Verfügbare BIAS | bipolar gepulst, Mittelfrequenz |
| Plasma-Ätzen | Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet |
| Standard Substrattisch (weitere auf Anfrage) |
Bis zu 32 Spindeln |