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PACVD Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition (revêtement chimique en phase vapeur assisté par plasma)

PACVD

Pour produire des couches de carbone sans métal, Oerlikon Balzers Coating utilise le procédé PACVD haute fréquence.

L'installation utilisée pour ce procédé est similaire à celle de la pulvérisation, qui est fréquemment utilisée en combinaison avec le CVD. Lors du revêtement PACVD, un gaz contenant les éléments du revêtement est envoyé dans la chambre sous vide et une décharge de tension alternative est appliquée.

Celle-ci génère des atomes de carbone et d'hydrogène (ions et radicaux) qui forment une couche compacte sur les outils et les composants. En faisant varier la tension appliquée, on influe sur les propriétés du revêtement.

 

  1. 1. Argon
  2. 2. Gaz réactif
  3. 3. Composants / outils
  4. 4. Source d'évaporation à magnétron planaire (matériau à déposer)
  5. 5. Connexion haute fréquence
  6. 6. Pompe à vide
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