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METAPLAS DOMINO pica
METAPLAS DOMINO micra
METAPLAS DOMINO kila
METAPLAS DOMINO kila flex
METAPLAS DOMINO giga flex

Mehrere Module, angepasst an die individuellen Anforderungen und variabel zu einem großen Ganzen vereinbar – das ist die Grundlage der METAPLAS.DOMINO. Unsere Erfahrungen aus 30 Jahren im Bereich Werkzeugmaschinen sind eingeflossen, um modernste Technologien für die Dünnfilm-Beschichtung zu entwickeln.

Damit bietet Oerlikon Balzers leistungsstarke Systemlösungen und setzt neue Trends im Bereich der Beschichtungen. Das modulare und flexible Konzept der Dünnfilm-Beschichtungsanlage ermöglicht auch nachträgliche Erweiterungen und Upgrades.

  • Hohe Prozesssicherheit
  • Kurze Zykluszeiten
  • Niedrige Stückkosten

Anlage mit integrierter Kammer

Kompakte Anlage in unterschiedlichen Größen für jeglichen Produktionsbedarf

Eigenschaften

METAPLAS.DOMINO pica

Verwendbares Beschichtungsvolumen

Ø 330 mm x 300 mm

Erhältliche Beschichtungsmodule Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding, DLC, ta-C
ARC-Verdampfer 2 bis 6
Magnetron-Sputterquellen 1 bis 3
Verfügbare Power Supplies

DC, DC pulse, HiPIMS, bipolar pulsed, MF (RF upon request)

Plasma-Ätzen Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage)
5 Spindeln
Eigenschaften

METAPLAS.DOMINO micra

Verwendbares Beschichtungsvolumen

Ø 450 mm x 500 mm

Erhältliche Beschichtungsmodule Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding, DLC, ta-C
ARC-Verdampfer 3 bis 12
Magnetron-Sputterquellen 1 bis 4
Verfügbare Power Supplies DC, DC Pulse, HIPIMS, bipolar gepulst, MF (RF auf Anfrage)
Plasma-Ätzen Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage)
6 Spindeln
Eigenschaften

METAPLAS.DOMINO kila

Verwendbares Beschichtungsvolumen

Ø 620 mm x 700 mm

Erhältliche Beschichtungsmodule Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding, DLC, ta-C
ARC-Verdampfer 4 bis 16
Magnetron-Sputterquellen 1 bis 4
Verfügbare Power Supplies DC, DC Pulse, HIPIMS, bipolar gepulst, MF (RF auf Anfrage)
Plasma-Ätzen Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage)
9 Spindeln

Anlage mit freistehender Kammer und zwei Türen

Die flex-Versionen sind bereits heute auf die künftige Einbindung neu entwickelter Technologien sowie auf die Integration in automatisierte Produktionsprozesse ausgelegt.

Eigenschaften

METAPLAS.DOMINO kila flex

Verwendbares Beschichtungsvolumen

Ø 620 mm x 700 mm

Erhältliche Beschichtungsmodule

Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding, DLC, ta-C

ARC-Verdampfer 4 bis 16
Magnetron-Sputterquellen 1 bis 6
Verfügbare Power Supplies DC, DC Pulse, HIPIMS, bipolar gepulst, MF (RF auf Anfrage)
Plasma-Ätzen Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage)
9 Spindeln
Eigenschaften

METAPLAS.DOMINO giga flex

Verwendbares Beschichtungsvolumen

Ø 1,200 mm x 1,500 mm

Erhältliche Beschichtungsmodule

Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding, DLC, ta-C

ARC-Verdampfer 8 bis 32
Magnetron-Sputterquellen 1 bis 4
Verfügbare Power Supplies DC, DC pulse, HiPIMS, bipolar pulsed, MF (RF upon request)
Plasma-Ätzen Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage)
Bis zu 32 Spindeln

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