METAPLAS.DOMINO kila flex 具有较高技术标准和灵活性的 PVD 设备

METAPLAS.DOMINO kila flex满足所有要求，包括灵活、以客户为导向、低维护成本，同时为满足特殊要求打开所有技术大门。因此，八角形 PVD 腔体带有 2 个用于装载和卸载被涂层产品的门，是实现自动化、易于操作和减少维护的理想平台。同时，除了电弧和溅射技术外，还可以配备 PACVD 需要的前驱气体模块并将其集成到系统中。

• 可以配备多达6个的APA Arc、HiPIMS 溅射或 HI3 模块法兰
• 新蚀刻技术—— ADVANCED AEGD
• 双层水冷不锈钢腔体可从两侧进入，带有 2 个腔门
• 自动化过程的装载门自动打开和关闭
• 适用于各种 PACVD 工艺的前趋气体模块，也可与氮化工艺相结合
• 根据客户要求改装各种技术模块和等离子体检测系统