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METAPLAS.DOMINO kila flex 具有较高技术标准和灵活性的 PVD 设备

METAPLAS.DOMINO kila flex
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METAPLAS.DOMINO kila flex满足所有要求,包括灵活、以客户为导向、低维护成本,同时为满足特殊要求打开所有技术大门。因此,八角形 PVD 腔体带有 2 个用于装载和卸载被涂层产品的门,是实现自动化、易于操作和减少维护的理想平台。同时,除了电弧和溅射技术外,还可以配备 PACVD 需要的前驱气体模块并将其集成到系统中。

  • 可以配备多达6个的APA Arc、HiPIMS 溅射或 HI3 模块法兰
  • 新蚀刻技术—— ADVANCED AEGD
  • 双层水冷不锈钢腔体可从两侧进入,带有 2 个腔门
  • 自动化过程的装载门自动打开和关闭
  • 适用于各种 PACVD 工艺的前趋气体模块,也可与氮化工艺相结合
  • 根据客户要求改装各种技术模块和等离子体检测系统
  • APA Arc

    涂层 产品 建议 应用领域 涂层成分 涂层结构 硬度 (HV0.05) 最大 工作温度 (°C) 颜色
    M.TIN 机加工、成型、零部件、装饰等的标准应用 TiN 单层 2500 ± 200 600 金色
    M.TICN 切削、螺纹加工、冲压、装饰 TiCN 多层 3500 ± 300 500 红棕色
    M.CRN 成型、塑性加工、热锻、零部件 CrN 单/多层 2200 ± 200 700 银白色
    M.CRON 塑料加工、铜/铝合金切削 CrN/CrON 多层 2400 ± 200 700 彩虹色
    M.ALTIN 一般切削应用(铣削、钻孔、铰孔、锯切) AlTiN 单层/多层/纳米层 3200 ± 300 900 炭黑色
    M.ZRN 有色金属切削,装饰 ZrN 多层 2300 ± 300 700 白金色
    M.ALTISIN (干式)切削,钢45-60 HRc、不锈钢、钛合金铣削;钻孔、齿轮加工 TiAlN/TiSiXN 多层 3500 ± 300 1100 古铜色
    M.TISIN (干式)硬切削,钢60-70 HRc、不锈钢、钛合金铣削; 钻孔 TiAlN/TiSiXN 纳米层 3300 ± 300 1100 古铜色
    M.ALCRN 切削钢 <45 HRc、(排气)阀门、零部件 AlCrXN 红棕色 2500 ± 250 1100 浅灰色
    M.CRALSIN 切削钢 <45 HRc、(排气)阀门、零部件 CrXAlSiN 红棕色 2500 ± 250 900 银灰色
    M.VN 铝压铸件=,高温成型 VXN 金色 2400 ± 300 600 浅黄铜色
    M.MON 精密部件、高温下的汽车零部件应用 MoN 金色 2400 ± 250 800 银白色
    M.TAC 切削有色金属、木质和纤维增强材料;成型;汽车零部件 ta-C 金色 4000 - 5000 500 炭黑色
  • 溅射/PACVD

    涂层 产品 建议 应用领域 涂层成分 涂层结构 硬度 (HV0.05) 最大 工作温度 (°C) 颜色
    M.DLC 精密零部件、汽车零部件、成型、塑料加工 Cr/a-C:H(:Si) 多层 1500 - 2500 300 炭黑色
    M.WCH 精密零部件 Cr/a-C:H:W 多层 800 - 1800 300 炭黑色
    M.CRN 精密零部件、汽车零部件应用 CrN 单层 2000 ± 200 700 银灰色
  • HiPIMS

    涂层 产品 建议 应用领域 涂层成分 涂层结构 硬度 (HV0.05) 最大 工作温度 (°C) 颜色
    M.CRN 铸币模具,用于镜面抛光表面的成型和塑料加工工具 CrN 单层 2300 ± 200 700 银灰色
    M.ALTIN 车削,铸币模具 AlTiN 单层 3200 ± 300 900 炭黑色
    M.TIN 铸币模具,螺纹加工 TiN 单层 2400 ± 250 600 金色
    M.TISIN 微冲压、切削 TiSiN 单层 3700 ± 300 1100 古铜色
    M.TIB 切削 AlSi 合金、有色金属、纤维增强材料 TiB2 单层 4500 ± 300 900 银灰色
  • HI3

    涂层 产品 建议 应用领域 涂层成分 涂层结构 硬度 (HV0.05) 最大 工作温度 (°C) 颜色
    M.ALTINV 冲压、切削、金属成型、压铸、螺纹 AlTiN/VXN 多层 2800 ± 250 600 浅古铜色
    M.ALTINSIB 高抗氧化性 应用 AlTiN/SiBNC 多层 2000 ± 250 1200 红绿色
    M.TISINTIB 切削 TiAlN/TIB2 多层 3800 ± 200 900 银色
    M.ALTINSI 切削 TiAlN/TiSiXN 多层 3200 ± 200 900 炭黑色

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