DOMINO kila flex满足所有要求，包括灵活、以客户为导向、低维护成本，同时为满足特殊要求打开所有技术大门。因此，八角形 PVD 腔体带有 2 个用于装载和卸载被涂层产品的门，是实现自动化、易于操作和减少维护的理想平台。同时，除了电弧和溅射技术外，还可以配备 PACVD 需要的前驱气体模块并将其集成到系统中。
- 可以配备多达6个的APA Arc、HiPIMS 溅射或 hybrid 模块法兰
- 新蚀刻技术—— ADVANCED AEGD
- 双层水冷不锈钢腔体可从两侧进入，带有 2 个腔门
- 自动化过程的装载门自动打开和关闭
- 适用于各种 PACVD 工艺的前趋气体模块，也可与氮化工艺相结合
- 根据客户要求改装各种技术模块和等离子体检测系统
-
LOADY（自动导引车）用于自动化装载、涂覆和卸载——可选配
| 属性 | DOMINO kila flex |
|---|---|
| Equipment type | flex (2 chamber doors) |
| 可用涂层容量 | Ø 620 mm x 700 mm |
| 可用涂层模块 | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| APA 电弧蒸发器 | 4 - 16 |
| 磁控溅射源 | 1 - 6 |
| 可用电源 | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| 可设置偏压 | Bipolar pulse, middle frequency |
| 等离子清洁 | All systems equipped with patented power etching process AEGD |
| 标准工作台(其他可根据需求) | 9 轴 |