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METAPLAS.DOMINOUne seule plateforme technologique – de multiples possibilités

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METAPLAS.DOMINO pica
METAPLAS. DOMINO micra
METAPLAS.DOMINO kila
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO giga flex

Adaptation de plusieurs modules aux besoins individuels et création d'une grande unité – c'est la base de METAPLAS.DOMINO. Cet équipement couches minces de pointe a été développé à partir des connaissances acquises depuis près de 30 ans et de notre expérience dans l’industrie de fabrication d’outils.

Pour Oerlikon Balzers, cela implique de proposer des solutions de systèmes efficaces, voire même de créer des tendances dans le domaine du traitement de surface. Le concept modulaire et flexible de l'équipement couches minces permet d'autres développements et mises à niveau.

  • Avantages

    Avantages

    • Flexibilité, diverses options de développement modulaire
    • Des revêtements personnalisés
    • Maintenance et besoin en pièces de rechange réduits au minimum
    • Un service après-vente efficace

    HI3 – High Ionization Triple
    Technologie hybride (Arc + HiPIMS) combinée au process de décapage plasma AEGD :

    HI3
     
    HI3
    • La force combinée de 3 process en un seul système PVD
    • Excellente adhérence, vitesse de dépôt élevée, revêtements lisses, production économique
    • Grâce à l'approche innovante de cette nouvelle génération de revêtements PVD aux applications variées
    • La technologie HI3 permet de réaliser une multitude d'architectures de couches
    • La technologie HI3 permet d'adapter les revêtements en fonction d'une large gamme de matériaux, du micro-alliage, du dopage, de la conception de l'architecture des couches... combinée avec une production économique !
  • Spécifications

    Équipement avec chambre intégrée

    Un équipement compact dans différentes dimensions pour tous les besoins de la production.

      METAPLAS.DOMINO pica METAPLAS.DOMINO micra METAPLAS.DOMINO kila
    Propriétés
    METAPLAS.DOMINO pica
    METAPLAS.DOMINO micra
    METAPLAS.DOMINO kila
    Volume de dépôt utilisable
    Ø 330 mm x 300 mm
    Ø 450 mm x 500 mm
    Ø 620 mm x 700 mm
    Modules de dépôt disponibles
    Arc, pulvérisation, HiPIMS, HI3, nitruration, DLC, ta-C
    Évaporateurs par arc APA
    2 à 6
    3 à 12
    4 à 16
    Sources de pulvérisation magnétron
    1 à 3
    1 à 4
    1 à 4
    Puissances disponibles
    CC, CC pulsé, HiPIMS, pulsé bipolaire, MF (RF sur demande)
    Nettoyage plasma
    Tous les systèmes sont équipés du procédé de décapage au plasma breveté AEGD
    Table de substrat standard
    (autres tables sur demande)
    5 arbres
    6 arbres
    9 arbres
     

    Équipement à chambre libre et deux portes

    Les versions flexibles sont parfaitement conçues pour l'intégration ultérieure d'une nouvelle technologie, ainsi que pour une intégration d'exemple dans des procédés de production automatisés.

      METAPLAS.DOMINO kila flex METAPLAS.DOMINO giga flex
    Propriétés
    METAPLAS.DOMINO kila flex
    METAPLAS.DOMINO giga flex
    Volume de dépôt utilisable
    Ø 620 mm x 700 mm
    Ø 1,200 mm x 1,500 mm
    Modules de dépôt disponibles
    Arc, pulvérisation, HiPIMS, HI3, nitruration, DLC, ta-C
    Évaporateurs par arc APA
    4 à 16
    8 à 32
    Sources de pulvérisation magnétron
    1 à 6
    1 à 4
    Puissances disponibles
    CC, CC pulsé, HiPIMS, pulsé bipolaire, MF (RF sur demande)
    Nettoyage plasma
    Tous les systèmes sont équipés du procédé de décapage au plasma breveté AEGD
    Table de substrat standard
    (autres tables sur demande)
    9 arbres
    Jusqu'à 32 arbres
     
  • Téléchargement
  • Autres informations

    Autres informations


    Principaux modules

    Arc

    Arc

    APA (Advanced Plasma Assisted), la technologie innovante d'évaporation sous vide par arc cathodique offres diverses possibilités de développement pour de nouvelles structures de revêtements.

    Avantages :

    • Une utilisation intensive des cibles pour de faibles coûts de cibles
    • Vitesses de dépôt élevées
    • Champs magnétiques réglables
    • Temps de changement de cibles réduits
    • Haute densité de plasma
    • Diminution des macro-particules
    • Excellente adhérence de la couche

    HiPIMS

    HiPIMS

    HiPIMS signifie High-Power Impulse Magnetron Sputtering, autrement dit Pulvérisation cathodique magnétron pulsé à haute puissance.
     

    Avantages :

    • Taux d'ionisation élevée (semblable à l'arc)
    • Densités haute puissance de 100 à 1000 W/cm2
    • Très haute densité du plasma
    • Réglage des structures de revêtements via les paramètres du plasma
    • Revêtements parfaitement lisses
    • Parfaite adhérence de la couche
    • Dépôt de revêtements denses à basse température des substrats
     

    Modules supplémentaires

    Pulvérisation

    Sputter

    Lors du processus de pulvérisation, les atomes sont extraits d'une cible par bombardement d'ions à haute énergie (Ar) et transformés en phase gazeuse. En combinant les matériaux pulvérisés avec des gaz supplémentaires, un revêtement est déposé sur le substrat.
     

    Avantages :

    • Possibilité de déposer sur une large gamme de matériaux
    • Plusieurs variantes de process sont disponibles
    • Revêtements lisses
    • Procédé de décapage au plasma AEGD pour une bonne adhérence de la couche

    Nitruration

    Nitriding

    Grâce au module de nitruration, il est possible d'exécuter le procédé de nitruration plasma avant le procédé PDV et / ou PACVD en un système et une charge. Cela permet de produire une couche solidifiée offrant un excellent support au revêtement PVD / PACVD final.
     

    Avantages :

    • Optimisation des propriétés de l'outil et du composant
    • Substitution de matériaux de base onéreux
    • Durée de vie considérablement prolongée
    • Tous les revêtements PVD peuvent être appliqués

     

    DLC

    DLC

    DLC signifie Diamond-Like Carbon (carbone adamantin) et se réfère à un groupe de revêtements en carbone amorphe à coefficient de frottement extrêmement faibles. Le module DLC permet de produire différents revêtements DLC via les procédés PVD et / ou PACVD. Les revêtements DLC standards sont en carbone non métallique ou métallique.

    Avantages :

    • Excellente adhérence de la couche
    • Résistance à l'usure élevée
    • Faible coefficient de frottement
    • Revêtements lisses

    ta-C

    ta-C

    ta-C signifie carbone amorphe tétraédrique sans hydrogène et se réfère à un groupe de revêtements en carbone amorphe extrêmement durs et à faibles coefficients de frottement.
    Le module ta-C permet de produire différents revêtements en ta-C.
     

    Avantages :

    • Pour des températures plus élevées que le DLS
    • Résistance à l'usure très élevée
    • Excellente adhérence de la couche
    • Lissé des revêtements

     

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