Équipement avec chambre intégrée
Un équipement compact dans différentes dimensions pour tous les besoins de la production.
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Propriétés |
METAPLAS.DOMINO pica
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METAPLAS.DOMINO micra
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METAPLAS.DOMINO kila
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Volume de dépôt utilisable |
Ø 330 mm x 300 mm
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Ø 450 mm x 500 mm
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Ø 620 mm x 700 mm
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Modules de dépôt disponibles |
Arc, pulvérisation, HiPIMS, HI3, nitruration, DLC, ta-C
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Évaporateurs par arc APA |
2 à 6
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3 à 12
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4 à 16
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Sources de pulvérisation magnétron |
1 à 3
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1 à 4
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1 à 4
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Puissances disponibles |
CC, CC pulsé, HiPIMS, pulsé bipolaire, MF (RF sur demande)
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Nettoyage plasma |
Tous les systèmes sont équipés du procédé de décapage au plasma breveté AEGD
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Table de substrat standard
(autres tables sur demande) |
5 arbres
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6 arbres
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9 arbres
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Équipement à chambre libre et deux portes
Les versions flexibles sont parfaitement conçues pour l'intégration ultérieure d'une nouvelle technologie, ainsi que pour une intégration d'exemple dans des procédés de production automatisés.
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Propriétés |
METAPLAS.DOMINO kila flex
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METAPLAS.DOMINO giga flex
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Volume de dépôt utilisable |
Ø 620 mm x 700 mm
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Ø 1,200 mm x 1,500 mm
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Modules de dépôt disponibles |
Arc, pulvérisation, HiPIMS, HI3, nitruration, DLC, ta-C
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Évaporateurs par arc APA |
4 à 16
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8 à 32
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Sources de pulvérisation magnétron |
1 à 6
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1 à 4
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Puissances disponibles |
CC, CC pulsé, HiPIMS, pulsé bipolaire, MF (RF sur demande)
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Nettoyage plasma |
Tous les systèmes sont équipés du procédé de décapage au plasma breveté AEGD
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Table de substrat standard
(autres tables sur demande) |
9 arbres
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Jusqu'à 32 arbres
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