Anlage mit integrierter Kammer
Kompakte Anlage in unterschiedlichen Größen für jeglichen Produktionsbedarf
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Eigenschaften |
METAPLAS.DOMINO pica
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METAPLAS.DOMINO micra
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METAPLAS.DOMINO kila
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Verwendbares Beschichtungsvolumen |
Ø 330 mm x 300 mm
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Ø 450 mm x 500 mm
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Ø 620 mm x 700 mm
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Erhältliche Beschichtungsmodule |
Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitrieren, DLC, ta-C
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ARC-Verdampfer |
2 bis 6
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3 bis 12
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4 bis 16
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Magnetron-Sputterquellen |
1 bis 3
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1 bis 4
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1 bis 4
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Verfügbare Power Supplies |
DC, DC Pulse, HIPIMS, bipolar gepulst, MF (RF auf Anfrage)
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Plasma-Ätzen |
Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
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Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage) |
5 Spindeln
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6 Spindeln
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9 Spindeln
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Anlage mit freistehender Kammer und zwei Türen
Die flex-Versionen sind bereits heute auf die künftige Einbindung neu entwickelter Technologien sowie auf die Integration in automatisierte Produktionsprozesse ausgelegt.
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Eigenschaften |
METAPLAS.DOMINO kila flex
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METAPLAS.DOMINO giga flex
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Verwendbares Beschichtungsvolumen |
Ø 620 mm x 700 mm
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Ø 1.200 mm x 1.500 mm
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Erhältliche Beschichtungsmodule |
Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitrieren, DLC, ta-C
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ARC-Verdampfer |
4 bis 16
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8 bis 32
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Magnetron-Sputterquellen |
1 bis 6
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1 bis 4
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Verfügbare Power Supplies |
DC, DC Pulse, HIPIMS, bipolar gepulst, MF (RF auf Anfrage)
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Plasma-Ätzen |
Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
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Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage) |
9 Spindeln
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Bis zu 32 Spindeln
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