YOF은 불화성 화학 물질에 대한 뛰어난 내식성을 제공합니다. 이점으로는 낮은 CoO와 금속 오염을 들 수 있습니다.
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에칭 챔버 부품
| 솔루션 | 코팅 재료 | 코팅 기술 | 코팅 경도 HIT [GPa] | 마찰 계수 (건식) 대 강철 | 최대 서비스 온도 [°C] | 공정 온도 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| YOF | Magnetron PVD | ~ 12 | ~ 0.6 | > 1000 | < 250 |
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