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SUCOTEC 고품질 CVD 코팅 장비

SUCOTEC 고품질 CVD 코팅 장비

SUCOTEC kila, mega 및 giga 시리즈는 올리콘발저스가 개발한 새로운 세대의 고품질 CVD 시스템입니다. 전 세계에서 사용되고 있는 이러한 시스템은 완벽한 생산 조건에서 나노층, 다층 및 새롭게 개발된 코팅에 대해 탁월한 성능과 유연성, 신뢰성을 입증했습니다.

  • 생산성 증가
  • 미래 수요에 대비한 비용 효과적이고 유연한 제품
  • 적은 유지보수 비용과 더 긴 가동 시간
  • 배치들 간 고품질이 일관되게 유지되는 코팅
  • 안전 보장

스탠다드 코팅 장비

모든 SUCOTEC CVD 코팅 시스템의 프로세스는 40 mbar ~ 800 mbar의 압력과 700 °C ~ 1040 °C 의 온도에서 이루어집니다. 지정된 모든 구성 요소는 업계에서 검증되었으며 최고의 기대치를 충족합니다.
모든 가열 튜브와 밸브는 최상의 효율을 위해 조립된 재료로 절연되어 있으며 피부 자극을 방지합니다.

기본 구성으로 증착할 수 있는 일반적인 코팅: TiN, TiC, TiCN, MT-TiCN

  사용 물질
 
가스: Ar, H2, N2, HCI, CH4, H2S, CO2, CO 최대 25 MFC 가능
액체: TiCI4, CH3CN 2 유량계

옵션

모든 SUCOTEC 시스템의 확장성은 추가적인 가스 및 재료 사용이 가능하므로 향후의 개발 및 시장 동향에 잘 대비할 수 있습니다. 일반적으로 SUCOTEC 시스템은 다음과 같은 옵션으로 확장할 수 있습니다.

  특수 코팅* 조건
 
나노 주조의 MT-TiCN, TiSiN, TiSiCN Ar, C2H6, C2H4, SiCl4
α-AI203 , k-AI203 350°C 이하 온도용 알루미늄 제너레이터(ALGE)
TiAlN 및 TiAlCN (fcc** 또는 높은 Al 함량의 혼합 fcc/h) NH3, Ar, N2 추가 가스 주입구, 가스 가열 및 가스 분배, ALGE
ZrN, ZrCN, ZrBCN, ZrO2, HfN, HfCN 450°C 이하 온도용 금속 염소 처리기(MEGE)
Cr2O3, CrCx 700 ~ 1000°C온도용 내부 염소 처리기
TiB2, TiBN, MT-TiBCN BCl3, Ar

* 특허: Oerlikon Balzers AG는 어떠한 주장이 입증될 수 있는지 여부에 관계없이 모든 국가의 특허와 관련하여 개인이나 당사자의 특허권 침해 주장에 대해 책임을 지지 않습니다.
** 면심 입방 결정 구조

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