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Equipamento de revestimento por CVD de alta qualidade SUCOTEC

As séries kila, mega e giga do SUCOTEC são a nova geração de sistemas de CVD de alta qualidade da Oerlikon Balzers. Usados em todo o mundo, esses sistemas têm desempenho, flexibilidade e segurança comprovados para nanocamadas, multicamadas e revestimentos recém-desenvolvidos em condições extremas de produção.

  • Maior produtividade
  • Econômico e flexível para atender a necessidades futuras
  • Baixos custos de manutenção e maior tempo ativo
  • Alta qualidade consistente dos revestimentos – de lote a lote
  • Segurança confiável

Equipamento padrão

O processo de revestimento em todos os sistemas SUCOTEC CVD é realizado a pressões de 40 mbar a 800 mbar abs. E temperaturas na faixa de 700 °C até 1040 °C. Todos os componentes especificados são testados industrialmente e atendem às mais altas expectativas.
Todas as tubulações e válvulas aquecidas são isoladas com materiais pré-fabricados para a melhor eficiência, evitando irritação da pele.

Revestimentos típicos que podem ser depositados com a configuração básica: TiN, TiC, TiCN, MT-TiCN

  Precursor
 
Gases: Ar, H2, N2, HCI, CH4, H2S, CO2, CO até 25 controladores de fluxo de massa (MFC) possíveis
Líquidos: TiCI4, CH3CN 2 Coriolis

Opções

A extensibilidade de todos os sistemas SUCOTEC permitem gases e precursores adicionais o que significa que eles estão bem preparados para futuros desenvolvimentos e tendências. Em geral, os sistemas SUCOTEC são extensíveis para as seguintes opções:

  Revestimentos especiais* Requerimentos
 
Nano columnar MT-TiCN, TiSiN, TiSiCN Ar, C2H6, C2H4, SiCl4
α-AI203 , k-AI203 Gerador de alumínio (ALGE) para temperaturas <350°C
TiAlN e TiAlCN (fcc** ou misto fcc/h com alto teor de Al) NH3, Ar, N2 entrada de gás adicional, aquecimento a gás e distribuição de gás, ALGE
ZrN, ZrCN, ZrBCN, ZrO2, HfN, HfCN Clorador de metal (MEGE) para temperaturas <450°C
Cr2O3, CrCx Clorador interno para temperaturas em uma faixa de 700 - 1000°C
TiB2, TiBN, MT-TiBCN BCl3, Ar

* Patentes: A Oerlikon Balzers AG não terá qualquer responsabilidade perante o cliente por qualquer reclamação por violação de direitos de patente por qualquer pessoa ou partes, sob quaisquer patentes de qualquer país, independentemente de tal reclamação ser passível de comprovação ou não.
** Estrutura cristalina cúbica de face centrada

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