Die DOMINO kila flex wurde für Produktionsumgebungen entwickelt, die maximale Flexibilität bei Anlagenkonfiguration, Prozessintegration und zukünftigen Erweiterungen erfordern. Das frei zugängliche Zwei-Türen-Kammerkonzept verbessert Ergonomie und Zugänglichkeit und bietet gleichzeitig die ideale Plattform für Automatisierung und anspruchsvolle Beschichtungsprozesse. Neben Arc- und Sputter-Technologien können auch PACVD-Systeme sowie weitere Technologien in die Anlage integriert werden, um zukünftige Produktionsanforderungen zu erfüllen.
- APA Arc, HiPIMS-Sputtern oder Hybrid-Technologie an bis zu 6 Flanschen
- Neue Ätztechnologie ADVANCED AEGD
- Doppelwandige, wassergekühlte Edelstahlkammer beidseitig zugänglich mit 2 Kammertüren
- Automatisches Öffnen und Schließen der Beladetür für Automatisierungsprozess
- Precursoren für verschiedene PACVD-Prozesse auch in Kombination mit Nitrierprozess
- Nachrüstung unterschiedlichster Technologien und Analysesystemen (Plasma) je nach Kundenanforderungen
- LOADY (Fahrerloses Transportsystem) für automatisiertes Beladen, Beschichten und Entladen – als Option verfügbar
| Eigenschaften | DOMINO kila flex |
|---|---|
| Anlagentyp | flex (2 Kammertüren) |
| Verwendbares Beschichtungsvolumen | Ø 620 mm x 700 mm |
| Erhältliche Beschichtungsmodule | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| ARC-Verdampfer | 4 bis 16 |
| Magnetron-Sputterquellen | 1 bis 6 |
| Verfügbare Leistungsversorgungen | DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS, (HF auf Anfrage) |
| Verfügbare BIAS | bipolar gepulst, Mittelfrequenz |
| Plasma-Ätzen | Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet |
| Standard Substrattisch (weitere auf Anfrage) |
9 Spindeln |