YOF 提供了完美的对氟化化学物的抗腐蚀性。优点包括降低 CoO 和低金属污染。
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刻蚀腔体零部件
| 解决方案 | 涂层材料 | 涂层技术 | 涂层硬度HIT [GPa] | 摩擦系数（干）与钢的比较 | 最高工作温度[°C] | 工艺温度[°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| YOF | Magnetron PVD | ~ 12 | ~ 0.6 | > 1000 | < 250 |
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