Für hochwertige, hauchdünne PVD-Schichten wird das Plasma durch Verdampfen von Atomen aus einem metallischen »Target« erzeugt. Dabei trennen sich die Elektronen von den Atomen, und Ionen bilden sich. Durch das Anlegen einer elektrischen Spannung werden diese Ionen vom Substrat, das beschichtet werden soll (ein Bauteil oder ein Werkzeug), angezogen. Sie treffen mit hoher Energie darauf auf, diffundieren auf seiner Oberfläche und verbinden sich untereinander zu einer sehr dünnen, dichten Beschichtung. Um zu verhindern, dass sie während ihrer »Reise« mit Luftmolekülen kollidieren, geschieht all dies in einem Hochvakuum.
Um das Plasma zu erzeugen ist eine grosse Menge an Energie in Form von Hochspannung mit mehreren hundert Volt nötig. Nicht nur die Wahl des Target-Materials, sondern auch die Spannung und die Energie des Plasmas beeinflussen die Beschichtung. »Für die Qualität und das Ergebnis der Beschichtung ist daher das Design der Plasmaquellen sehr wichtig. Wir bei Oerlikon Balzers forschen ständig daran, sowohl die Plasmaquellen als auch das Endergebnis, die Schichten, zu verbessern«, erklärt Alessandro Zedda.