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SUCOTEC Un équipement de revêtement CVD de qualité

Équipement de revêtement CVD de qualité SUCOTEC

Les séries kila, mega et giga de SUCOTEC constituent la nouvelle génération de systèmes CVD haut de gamme d'Oerlikon Balzers. Utilisés dans le monde entier, ces systèmes ont démontré leur précision, leur niveau remarquable de performance, de flexibilité et de fiabilité pour les nano couches, les multicouches et les nouveaux revêtements développés dans des parfaites conditions de production.

  • Productivité améliorée
  • Rentable et flexible pour répondre aux exigences de demain
  • Faible coût d'entretien et disponibilité accrue
  • Qualité élevée et constante des revêtements - lot après lot
  • Fiabilité et sécurité

Équipement standard

Le processus de revêtement dans tous les systèmes SUCOTEC CVD est réalisé à des pressions de 40 mbar à 800 mbar abs. et à des températures comprises entre 700 °C et 1040 °C. Tous les composants spécifiés sont testés industriellement et répondent aux exigences les plus élevées.
Tous les tubes et vannes chauffés sont isolés à l'aide de matériaux préfabriqués pour une meilleure efficacité et pour éviter les irritations cutanées.

Revêtements typiques pouvant être déposés avec la configuration de base : TiN, TiC, TiCN, MT-TiCN

  Precursor
 
Gaz : Ar, H2, N2, HCI, CH4, H2S, CO2, CO jusqu'à 25 contrôleurs de débit massique (MFC) possibles
Liquids : TiCI4, CH3CN 2 Coriolis

Options

L'extensibilité de tous les systèmes SUCOTEC permet d'ajouter des gaz et des précurseurs, ce qui signifie qu'ils sont bien préparés pour les évolutions et les tendances futures. En général, les systèmes SUCOTEC sont extensibles aux options suivantes :

  Revêtements speciaux * Critères
 
Nano columnar MT-TiCN, TiSiN, TiSiCN Ar, C2H6, C2H4, SiCl4
α-AI203 , k-AI203 Générateur en aluminium (ALGE) pour des temperatures <350°C
TiAlN et TiAlCN (fcc** ou fcc/h mixte à forte teneur en Al) NH3, Ar, N2 entrée de gaz supplémentaire, chauffage au gaz et distribution de gaz, ALGE
ZrN, ZrCN, ZrBCN, ZrO2, HfN, HfCN Chlorateur métallique (MEGE) pour des temperatures <450°C
Cr2O3, CrCx Chlorateur interne pour les températures de l'ordre de 700 - 1000°C
TiB2, TiBN, MT-TiBCN BCl3, Ar

* Brevets : Oerlikon Balzers AG n'est pas responsable envers le client de toute réclamation pour violation des droits de brevet par toute personne ou partie, en vertu de tout brevet de tout pays, quelle que soit l'origine de cette réclamation, qu'elle soit ou non susceptible d'être justifiée.
** Structure cristalline cubique à faces centrées

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