Y₂O₃ bietet ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit gegen fluorierte Chemikalien. Zu den Vorteilen zählen geringere Cobaltoxid-Bestandteile und metallische Kontamination.
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Ätzkammer-Komponenten
| Schichtoptionen | Schichtmaterial | Beschichtungstechnologie | Schichthärte HIT[GPa] | Reibungskoeffizient (trocken) vs. Stahl | Max. Anw.- Temp. [°C] | Prozesstemperatur [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| YOF | Magnetron PVD | ~ 12 | ~ 0.6 | > 1000 | < 250 |
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