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METAPLAS.DOMINO ひとつのテクノロジープラットフォーム – 様々な可能性

METAPLAS DOMINO pica
METAPLAS DOMINO kila
METAPLAS DOMINO kila flex
METAPLAS DOMINO giga flex

個別要求に対して複数モジュールのカスタマイズと優れたユニットの構築、それがMETAPLAS.DOMINOの基準です。最先端の薄膜装置は工具・金型製造業における30年近い知識によって開発されています。

エリコンバルザースにとって、このことは効率的システムソリューションを提供し、表面処理のトレンドを生むことを意味します。このモジュラーと柔軟なコンセプトが薄膜装置の更なる拡張とアップグレードを可能にします。

  • 高プロセス信頼性
  • 短いサイクルタイム
  • 工具一個当たりのコストを削減

チャンバーが統合された装置

あらゆる生産ニーズに対応する多様なサイズが選べるコンパクト装置

特性

METAPLAS.DOMINO pica
コーティング使用可能容積

Ø 330 mm x 300 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化, DLC, ta-C)
APAアークソース取り付け可能数

2 - 6
スパッタ式ソース取り付け可能数

1 - 3
利用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)		 5 軸
特性

METAPLAS.DOMINO micra
コーティング使用可能容積

Ø 450 mm x 500 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化, DLC, ta-C)
APAアークソース取り付け可能数

3 - 12
スパッタ式ソース取り付け可能数

1 - 4
利用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)		 6 軸
特性

METAPLAS.DOMINO kila
コーティング使用可能容積

Ø 620 mm x 700 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化, DLC, ta-C)
APAアークソース取り付け可能数

4 - 16
スパッタ式ソース取り付け可能数

1 - 4
利用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)		 9 軸

自由なチャンバーと二つのドアを備えた装置

このフレックスバージョンは新たに開発されたテクノロジーの将来的な統合だけでなく、例えば自動生産プロセスの統合にも完璧に設計されています。

特性

METAPLAS.DOMINO kila flex
コーティング使用可能容積

Ø 620 mm x 700 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化, DLC, ta-C)
APAアークソース取り付け可能数

4 - 16
スパッタ式ソース取り付け可能数

1 - 6
利用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)		 9 軸
特性

METAPLAS.DOMINO giga flex
コーティング使用可能容積

Ø 1,200 mm x 1,500 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化, DLC, ta-C)
APAアークソース取り付け可能数

8 - 32
スパッタ式ソース取り付け可能数

1 - 4
利用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)		 最大32軸

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