Choose your country / language

Semiconductor wafer, chucks and pedestals

Products include BALINIT DYLYN for wear and contamination reduction and tunable electrical properties. Others include Y2O3 for etch-resistance, as well as TiN and CrN for wear and electrical conductivity

Ratkaisu Pinnoitusmateriaali Pinnoitustekniikka Pinnoitteen kovuus HIT [GPa] Kitkakerroin (kuiva) terästä vasten Maksimi käyttölämpötila [°C] Prosessilämpötila [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
lataa
TiN Arc 30 +/- 3 0,6 600 < 500

Palautetta tai kysymyksiä? Ota meihin yhteyttä!

keyboard_arrow_up