減圧プラズマ溶射システム (VPS)

長年の実績がある非常に信頼性の高い ChamPro™ コーティングプロセスをベースとした VPS システムは、バッチ生産のコーティング (例 ブレードベーン、医療用インプラントなど) 用に設計されており、次のようなユニークな機能があります:

• 溶射プロセス中の標準的なチャンバー圧力は 30 mbar から 900 mbar
• ワーク洗浄のための逆移行性アーク (酸化物層の除去)
• 最大 120 kW のプラズマトーチ出力による高エンタルピープラズマ流
• ハンドリング構成により異なりますが、最大溶射部品重量 100 kg (治具含む)
• 減圧環境での使用に合わせて改良された 6 軸ロボットによる動作制御

これらのシステム機能が、減圧プラズマ溶射プロセスの高度なプロセス特性を生み出しています:

• 非常に柔軟な動作条件
• 薄膜/厚膜のコーティング
• 皮膜の凝固を遅らせ残留応力を制御
• 高密度のプラズマジェット形状によって高い付着効率を実現

コーティングプロセスの基本的な考え方とワークフローは以下の通りです。

1. ハンドリング装置に部品をロードする
2. 扉を閉め、空気を排出し初期真空状態にする
3. チャンバー内に動作圧力までアルゴンガスを注入
4. 部品のコーティング
5. 冷却サイクル後にチャンバーを大気圧に戻す
6. 部品をアンロードする