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服务于晶圆制造设备和平板显示器行业的高端喷涂车间和维修工厂面临着越来越多的挑战,例如更高的性能要求、更高的产量要求、更短的开发周期以及在竞争激烈的环境中持续增加的成本压力。

提高性能并降低运营成本

同时,在应用技术方面,当涉及到静电吸盘、腔室部件和过程工艺套件(例如护罩和密封环)等部件时,需要应对越来越多的挑战,包括为了减少颗粒磨蚀以及改善装/卸卡盘性能而需要的平整度、基板尺寸和耐蚀性。 

欧瑞康美科的高纯度粉末,配合我们高性能的等离子系统,可产生高度一致的喷涂性能,并由此提供优异的涂层质量: 

  • 静电吸盘的卓越电绝缘性与导电性能
  • 光滑致密的涂层,可提高静电吸盘的性能
  • 腔室部件具有优越的抗腐蚀、抗颗粒磨蚀和抗等离子性,因此性能更优,产量更高
  • 低孔隙度的光滑涂层可改善等离子蚀刻和抗腐蚀性能,从而减少客户的停机时间

我们独特、全面的产品(粉末、等离子喷枪、卓越的工艺专有技能和开发支持)在业界是无与伦比的,可帮助客户降低运营成本、延长零件寿命、提高生产量和生产率,从而实现降低客户的总体成本。 

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