La DOMINO kila flex cumple con todos los requisitos de una máquina de producción flexible, orientada al cliente y de bajo mantenimiento, que mantiene todas las puertas abiertas para solicitudes especiales. Por lo tanto, la cámara de PVD octogonal de libre acceso con 2 puertas para carga y descarga es una plataforma ideal para la automatización y fácil operación con mantenimiento reducido. Al mismo tiempo, además de las tecnologías de arco y pulverización catódica, los sistemas precursores de PACVD también pueden utilizarse e integrarse en el sistema.
- Nueva tecnología de etching ADVANCED AEGD
- Cámara de acero inoxidable refrigerada por agua de doble pared accesible desde ambos lados con puertas de 2 cámaras
- Apertura y cierre automático de puerta de carga para proceso de automatización
- Precursores para varios procesos PACVD, también en combinación con un proceso de nitruración
- Retrofitting de diversas tecnologías y sistemas de análisis (plasma) en función de los requisitos del cliente