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SUCOTEC Equipment

SUCOTEC kila, SUCOTEC mega und SUCOTEC giga sind hochwertige CVD-Anlagen der neuen Generation von Oerlikon Balzers. Im weltweiten Einsatz haben diese Systeme ihre hervorragende Leistung, Flexibilität und Zuverlässigkeit für Nanoschichten, Multi-Layer und neu entwickelte Schichten unter realen Produktionsbedingungen unter Beweis gestellt.

  • Erhöhte Produktivität
  • Kosteneffizient und flexibel für zukünftige Ansprüche
  • Niedrige Wartungskosten und mehr Produktionszeit
  • Durchwegs hohe Schichtqualität - Batch für Batch
  • Sicherheit auf die Sie sich verlassen können

Standardsysteme

Der Beschichtungsprozess in allen SUCOTEC CVD-Anlagen erfolgt bei Drücken von 40 mbar bis 800 mbar absolut und Temperaturen im Bereich von 700°C bis 1040°C. Alle spezifizierten Komponenten sind industriell erprobt und erfüllen höchste Ansprüche. Alle beheizten Gasrohre und Ventile sind ab Werk mit hochwertigen Materialien isoliert, um die beste Effizienz zu erzielen und mögliche Hautreizungen zu vermeiden.

Typische Beschichtungen, die mit der Grundkonfiguration abgeschieden werden können: TiN, TiC, TiCN, MT-TiCN

  Precursor
 
Gase: Ar, H2, N2, HCI, CH4, H2S, CO2, CO Bis zu 25 Mass Flow Controller (MFC) möglich
Flüssigkeiten: TiCI4, CH3CN 2 Coriolis

Optionen

Die Erweiterbarkeit aller SUCOTEC-Systeme erlaubt zusätzliche Gase und Precursoren, so dass sie für zukünftige Entwicklungen und Trends gut ausgerüstet sind. Generell sind die SUCOTEC Systeme auf folgende Optionen erweiterbar:

  Spezielle Beschichtungen* Anforderungen
 
Säulenförmigen Strukturen MT-TiCN, TiSiN, TiSiCN Ar, C2H6, C2H4, SiCl4
α-AI203 , k-AI203 Aluminium Generator (ALGE), Temperaturen <350°C
TiAlN and TiAlCN (kfz** oder gemischt kfz und hexagonale Struktur mit hohem Aluminiumgehalt) NH3, Ar, N2 zusätzlicher Gaseinlass, Heizbänder und Gasverteilungssystemen, ALGE
ZrN, ZrCN, ZrBCN, ZrO2, HfN, HfCN Metal Chlorinator (MEGE) für Temperaturen <450°C
Cr2O3, CrCx Interner Chlorinator für Temperatur zwischen 700 und 1000°C
TiB2, TiBN, MT-TiBCN BCl3, Ar

* Patente: Oerlikon Balzers AG schliesst die Haftung gegenüber dem Kunden für Ansprüche wegen Verletzung von Patentrechten durch Personen oder Parteien aus, unabhängig davon in welchem Land solche Patentrechte Wirkung entfalten und ob diese Ansprüche begründet werden können oder nicht.
** Kubisch flächenzentrierte Kristallstruktur

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