Die DOMINO mega flex wurde für Anwender entwickelt, die eine deutlich höhere Beschichtungskapazität benötigen und gleichzeitig von der Flexibilität der DOMINO-Plattform profitieren möchten. Das großzügig ausgelegte Kammerkonzept mit zwei Türen verbessert Ergonomie und Zugänglichkeit und bietet gleichzeitig die ideale Basis für Automatisierung und anspruchsvolle Beschichtungsprozesse. Gleichzeitig bietet die Anlage flexible Integrations- und Aufstellungsmöglichkeiten und lässt sich effizient in bestehende Fertigungsumgebungen einbinden und an neue Anforderungen anpassen.
- APA Arc, HiPIMS-Sputtern oder Hybrid-Technologie an bis zu 6 Flanschen
- Neue Ätztechnologie ADVANCED AEGD
- Doppelwandige, wassergekühlte Edelstahlkammer beidseitig zugänglich mit 2 Kammertüren
- Automatisches Öffnen und Schließen der Beladetür für Automatisierungsprozess
- Precursoren für verschiedene PACVD-Prozesse auch in Kombination mit Nitrierprozess
- Nachrüstung unterschiedlichster Technologien und Analysesystemen (Plasma) je nach Kundenanforderungen
- Anlage besteht aus zwei Modulen, die flexibel positioniert werden können
| Eigenschaften | DOMINO giga flex |
|---|---|
| Anlagentyp | flex (2 Kammertüren) |
| Verwendbares Beschichtungsvolumen | Ø 1,025 mm x 1,100 mm |
| Erhältliche Beschichtungsmodule | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| ARC-Verdampfer | 6 bis 36 |
| Magnetron-Sputterquellen | 1 bis 6 |
| Verfügbare Leistungsversorgungen | DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS |
| Verfügbare BIAS | bipolar gepulst, Mittelfrequenz |
| Plasma-Ätzen | Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet |
| Standard Substrattisch (weitere auf Anfrage) |
18 Spindeln |