INLENIA kilaは大量生産ニーズ向け主力装置です。12ツリーのバッチ積載容量がより多くの工具コーティングを可能にします。INLENIAは標準工具のコーティングに最適なシステムであり、非常に多用途の生産が可能です。
- 大量生産向け主力装置
- 標準工具コーティングに最適
- 多用途の生産
- 精密、特別、マイクロツール向けコーティング
- カスタムコーティングとエリコンバルザースのレシピによるアプリケーション
- エリコンバルザースのコーティングセンターで実証済
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INLENIA kila 大量生産プラットフォーム
従来のHiPIMSテクノロジーより極めて高速*
12本のツリーにより、INLENIAはINNOVAと比較し20％以上の積載バッチ容量実現。
INLENIA kila
- 1日4バッチ
- 典型的なプロセス時間5 - 6 時間
寸法
- 長さ: 4430 mm
- 幅: 2330 mm
- 高さ: 2460 mm
- 設置面積: 10.7 sqm
- 重量: 7000 kg**
* コーティング時間（ローディング時間は含まない）
** 積載カルーセルは除く
|
INLENIA kila |
|
|---|---|
| 回転軽 |
700 mm |
| コーティング可能高さ |
400 mm |
| 最大積載重量 |
600 kg |
| テクノロジー |
S3p® |
| マグネットシステム | 4 S3p®スパッタモジュール |
| エッチング | サイドエッチングテクノロジー(SET) |
| スピンドル数 | 最大12 |
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