BALINIT DYLYN 코팅은 오염과 조정 가능한 전도성을 줄이기 위한 용도로 사용됩니다. BALINIT A (TiN)는 DYLYN보다 높은 전도성이 필요한 경우 사용됩니다.
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반도체 웨이퍼 전달 메커니즘
| 솔루션 | 코팅 재료 | 코팅 기술 | 코팅 경도 HIT [GPa] | 마찰 계수 (건식) 대 강철 | 최대 서비스 온도 [°C] | 공정 온도 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 | ||
| TiN | Arc | 30 +/- 3 | ~0.6 | 600 | < 500 |
|
