BALINIT FUTURA NANO 通常可保护真空螺杆泵不受磨损。Y₂O₃ 已经证明了对氟化化学物的耐刻蚀性，并可延长零部件的服务寿命。
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真空螺杆泵
| 解决方案 | 涂层材料 | 涂层技术 | 涂层硬度HIT [GPa] | 摩擦系数（干）与钢的比较 | 最高工作温度[°C] | 工艺温度[°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TiAlN | Arc | 33 +/- 3 | ~0.6 | 900 | 500 |
|
