Y₂O₃ は不要な AlF 粒子の生成と汚染を防ぎます。BALINIT DYLYN は、特定のアプリケーションにおける放射率と合わせることもできます。
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半導体シャワーヘッド
| ソリューション | コーティング材 | コーティング技術 | コーティング硬さHIT [GPa] | 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール | 最高使用温度 [°C] | 処理温度 [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 |
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