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METAPLAS.DOMINO kila

DOMINO kila は、APA アークとADVANCED AEGDの技術をベースに、コスト効率の高いコーティングを製造するために設計されました。標準化された技術パッケージを魅力的な価格で提供し、スパッタリングや窒化などのいくつかの追加技術でアップグレードが可能です。

  • 最大4つのフランジを持つAPAアークテクノロジー
  • 短いサイクルタイムと高い蒸発率
  • 新しいエッチング技術 ADVANCED AEGD
  • 窒化およびスパッタリング技術のレトロフィット可能
特性 METAPLAS.DOMINO kila
コーティング使用可能容積 Ø 620 mm x 700 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化)
APAアークソース取り付け可能数 4 - 16
スパッタ式ソース取り付け可能数 1 - 4
Available power supplies DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Available BIAS Bipolar pulse, middle frequency
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)
9 軸

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