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METAPLAS DOMINO pica
METAPLAS DOMINO kila
METAPLAS DOMINO kila flex
METAPLAS DOMINO giga flex

個別要求に対して複数モジュールのカスタマイズと優れたユニットの構築、それがMETAPLAS.DOMINOの基準です。最先端の薄膜装置は工具・金型製造業における30年近い知識によって開発されています。

エリコンバルザースにとって、このことは効率的システムソリューションを提供し、表面処理のトレンドを生むことを意味します。このモジュラーと柔軟なコンセプトが薄膜装置の更なる拡張とアップグレードを可能にします。

  • 高プロセス信頼性
  • 短いサイクルタイム
  • 工具一個当たりのコストを削減

Main modules

アーク

この革命的APA蒸発技術(拡張プラズマアシスト)はカソード真空アーク技術に基づき、膜の組織、組成、ドーピング、マルチ・ナノレイヤーに関する新しいレイヤー構造開発のための様々な可能性を提供します。

メリット:
  • 高 ターゲット利用効率による低ターゲットコスト
  • 高蒸着率
  • 調整可能な磁場
  • ターゲット交換が短時間
  • 高プラズマ密度
  • マクロ粒子の減少
  • 優れたコーティング密着性

HiPIMS

HiPIMSは高出力インパルスマグネトロンスパッタリングを意味します。

メリット:
  • 高イオン化率(アークと同レベル)
  • 100-1000 W/cm2の高出力密度
  • 非常に高いプラズマ密度
  • プラズマ変数の設定で膜構造を調整可能
  • 非常にスムースなコーティング
  • 優れたコーティング密着性
  • 低基材温度での高密度コーティングの蒸着

追加モジュール

スパッタ

スパッタリングプロセスでは、高エネルギーイオン(アルゴン)の衝突により原子がターゲットから放出されます。追加ガス(反応性スパッタリング)とともにスパッタされた物質が組み合わされることで、コーティングが母材に蒸着します。DC、DCパルス、RF、MF、また高出力スパッタ(HiPIMS)といったマグネトロンスパッタリングモジュールの使用によって引き起こされます。

メリット:
  • 幅広い領域の物質がスパッタ可能
  • 様々なプロセスの改良型が利用可能
  • スムースなコーティング
  • パワーエッチングプロセスAEGDとの組み合わせによる優れたコーティング密着性

窒化

窒化モジュールでは、PVDやPACVDコーティングプロセス前に一つのシステム、一つのバッチでプラズマ窒化プロセスが可能です。その結果、PVD/PACVDコーティングをサポートする高硬度レイヤーを成膜できます。

メリット:
  • 工具・金型および部品特性の最適化
  • 高価な基材の代替
  • 顕著な寿命延長
  • すべてのPVDコーティングに適用可能

DLC

DLCはダイアモンドライクカーボンを意味し、極めて低摩擦なアモルフォスカーボンコーティングを意味します。DLCモジュールはPVDやPACVDプロセスを用いた異なるDLCコーティングが成膜可能です。標準DLCコーティングはW:C-Hといった金属フリーまたは金属を含むカーボンコーティングだけでなく、BALINIT DYLYNやBALINIT CAVIDURコーティングも成膜可能です。

メリット:
  • 優れたコーティング密着性
  • 高耐摩耗性
  • 低摩擦係数
  • スムースコーティング

ta-C

ta-Cは水素フリー四面体アモルフォスカーボンを意味し、極めて硬度なグループに属す低摩擦アモルフォスカーボンコーティングです。ta-Cモジュールは異なるta-Cコーティングを成膜可能です。

メリット:
  • DLCより高温環境向け
  • 非常に高い耐摩耗性
  • 優れたコーティング密着性
  • スムースコーティング

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