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真空スクリューポンプ

BALINIT FUTURA NANO は一般的に、真空真空スクリューポンプを摩耗から保護します。
Y₂O₃ は、フッ化化学物質に対するエッチ耐性が証明されており、部品のサービス寿命を高めます。

ソリューション コーティング材 コーティング技術 コーティング硬さHIT [GPa] 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール 最高使用温度 [°C] 処理温度 [°C]
TiAlN Arc 33 +/- 3 ~0.6 900 500

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