Neste processo, um arco com um diâmetro de apenas alguns mícrons atua sobre o material de revestimento metálico e sólido, levando à sua evaporação. Devido às altas correntes e densidades de potência então utilizadas, o material evaporado é praticamente todo ionizado, formando um plasma de alto poder energético.
Os íons metálicos combinam com o gás reativo que é introduzido na câmara e atacam as ferramentas ou componentes que serão revestidos com alta potência. São depositados na forma de um revestimento fino e altamente aderente.
