Wybierz kraj/język

SUCOTEC Wysokiej jakości urządzenia do powlekania CVD

SUCOTEC wysokiej jakości urządzenia do powlekania CVD

Seria SUCOTEC kila, mega i giga to nowa generacja wysokiej jakości systemów CVD firmy Oerlikon Balzers. Wykorzystywane na całym świecie systemy potwierdziły wybitną wydajność, elastyczność i niezawodność w tworzeniu nanowarstwowych, multiwarstwowych oraz nowo opracowanych powłok w warunkach produkcyjnych.

  • Większa produktywność
  • Ekonomiczna i elastyczna odpowiedź na przyszłe potrzeby
  • Niskie koszty utrzymania i dłuższy czas sprawności
  • Stała, wysoka jakość powłok – wsad za wsadem
  • Bezpieczeństwo, na którym można polegać

Standardowy sprzęt

Proces powlekania dla systemów SUCOTEC CVD odbywa się pod ciśnieniem 40-800 mbar abs. i w temperaturze 700-1040°C.
Wszelkie zastosowane komponenty spełniają najwyższe standardy jakości. Rurki i zawory izolowane są prefabrykatami, by uniknąć podrażnień skóry, przy zachowaniu wysokiej wydajności.

Podstawowe typy powłok: TiN, TiC, TiCN, MT-TiCN

  Media
 
Gazy: Ar, H2, N2, HCI, CH4, H2S, CO2, CO możliwe do 25 masowych kontrolerów przepływu (MFC)
Ciecze: TiCI4, CH3CN 2 Coriolisa

Możliwości

Systemy SUCOTEC pozwalają na dodawanie nowych mediów, dzięki czemu są elastyczne i przygotowane na potencjalne zmiany. Możliwości rozszerzeń są następujące:

  Powłoki specjalne* Wymagania
 
Nano kolumnowy MT-TiCN, TiSiN, TiSiCN Ar, C2H6, C2H4, SiCl4
α-AI203 , k-AI203 Generator aluminium (ALGE) dla temperatur <350°C
TiAlN and TiAlCN (fcc** lub zmieszane fcc/h z wysoką zawartością Al) NH3, Ar, N2 dodatkowy dopływ gazu/ogrzewanie gazowe/dystrybucja gazu, ALGE
ZrN, ZrCN, ZrBCN, ZrO2, HfN, HfCN Chlorator metali (MEGE) dla temperatur <450°C
Cr2O3, CrCx Zewnętrzny chlorator dla temperature w zakresie 700 - 1000°C
TiB2, TiBN, MT-TiBCN BCl3, Ar

* Patenty: Firma Oerlikon Balzers AG nie ponosi żadnej odpowiedzialności wobec klienta za jakiekolwiek roszczenia z tytułu naruszenia praw patentowych przez jakąkolwiek osobę lub strony, w ramach jakichkolwiek patentów jakiegokolwiek kraju, niezależnie od tego, czy takie roszczenie jest uzasadnione, czy nie.
** Sześcienna struktura krystaliczn

keyboard_arrow_up