\uf1ad

Parowanie łukowe (Arc evaporation)

Parowanie łukowe (Arc evaporation)

W tym procesie łuk o średnicy od kilku do kilku dziesiątych mikrometra wyładowuje się na litym, metalicznym materiale źródłowym, powodując jego parowanie. Wykorzystanie wysokich prądów i dużej gęstości mocy powoduje niemal kompletną jonizację odparowanego materiału, a tym samym kształtowanie się wysoko energetycznej plazmy.

Jony metalu wymieszane z reagującym gazem, wprowadzanym do komory, uderzają w narzędzia lub komponenty z dużą energią i osadzają się jako cienkie i silnie przylegające powłoki.

 

 

Proces parowania łukowego

  1. 1. Argon
  2. 2. Gaz reagujący
  3. 3. Źródła łukowe (materiał powłoki i płyta podporowa)
  4. 4. Komponenty/Narzędzia
  5. 5. Pompa próżniowa
Kontakt