\uf1ad

PACVD Wspomagane plazmowo chemiczne osadzanie z fazy gazowej

PACVD

Czym są powłoki PACVD?

Oerlikon Balzers wytwarza niemetaliczne powłoki węglowe z wykorzystaniem procesu PACVD o dużej częstotliwości.

Warunki tego procesu są zbliżone do napylania, często wykorzystywanego w połączeniu z CVD. W procesie PACVD gaz zawierający materiał powłoki jest wprowadzany do komory próżniowej, następuje wyładowanie z wykorzystaniem prądu przemiennego.

W ten sposób powstają wolne atomy węgla i wodoru (jony i rodniki), tworzące gęstą powłokę na narzędziach i komponentach. Na właściwości powlekania można wpływać, zmieniając przyłożone napięcie.

 

  1. 1. Argon
  2. 2. Gaz reaktywny
  3. 3. Komponenty/Narzędzia
  4. 4. Planarno-magnetronowe źródło jonów (materiał powłoki)
  5. 5. Połączenie o wysokiej częstotliwości
  6. 6. Pompa próżniowa
Kontakt