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반도체용 코팅 민감한 반도체 산업용 특수 박막 솔루션

반도체용 코팅

BALINIT DYLYN을 비롯한 올리콘발저스의 맞춤형 다이아몬드 라이크 코팅(DLC) 솔루션은 웨이퍼 접촉 공구 및 포지셔닝 시스템에서 민감한 반도체 웨이퍼를 오염시키지 않고 저마찰, 우수한 밀착력 및 열 전도성과 같은 유익한 특성을 제공합니다.

DLC 코팅이 개별 요구 사항을 보다 효과적으로 충족시킬수록 총 소유 비용은 감소합니다. 발저스는 고객의 특정 요구에 맞게 DLC 코팅의 특성을 정확하게 조정할 수 있는 역량과 전문성을 보유하고 있습니다. 고경도, 낮은 마찰 계수 및 우수한 내마모성은 입자 형성을 크게 줄여주므로 제조 효율을 향상시킵니다. 이는, 특히 피처 크기가 작은 경우 중요 요인이 됩니다. 코팅을 적용한 부품의 명확한 재현성은 일관된 공정 신뢰성을 제공합니다.

올리콘발저스는 반도체 산업의 엄격한 요구를 충족시키는 맞춤형 반도체 코팅을 제공할 수 있는 전문성을 보유하고 있습니다. 많은 솔루션 중 대표적인 예로 불화성 화학 물질에 대한 내식성으로, 웨이퍼, e-척, 페더스탈, 에칭 키트, 샤워헤드 및 진공 펌프 부품 등의 용도에 사용할 수 있는 전혀 새로운 코팅이 있습니다.

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