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S3p – 拡張可能なパルス出力プラズマ

S3p – 拡張可能なパルス出力プラズマ

スムースレボリューション
インテリジェンスの流れに乗って

拡張可能なパルス出力プラズマ

S3p – 拡張可能なパルス出力プラズマ

アーク蒸着

アーク蒸着

アーク蒸着では、高電流の小さなスポットが対象物の表面を移動します。素材は即座に溶解し、金属蒸気が作業対象物上で凝結します。このプロセスは爆発性であるため、液体金属の飛沫が発生し、コーティング表面が滑らかではなくなる場合があります。合成物を形成するために反応性ガスを導入することができます。

プロセスの特性:
  • 高イオン化
コーティング特性:
  • 高密度、高硬度
  • 優れた密着性
  • 滑らかさに欠ける、飛沫

スパッタリング

スパッタリング

スパッタリングは、対象物へのエネルギー粒子の照射により、固体の対象素材から原子が放出されるプロセスです。薄膜コーティングでは、アルゴンイオンを固体の対象物へと加速させ、加工対象物で収集される金属原子をたたき出すことで行われます。金属窒化物などの合成物は、真空チャンバー内のガスを取り込むことで形成されます。

プロセスの特性:
  • 低イオン化
コーティング特性:
  • 低密度、低硬度
  • 中程度の接着性
  • スムースな表面

S3p

S3p

S3p は、アーク蒸着とスパッタリング技術のメリットを組み合わせたものです:

  • 飛沫を発生させず、プロセス中に高イオン化を実現
  • スムースなコーティング表面
  • 非常に高いコーティング密度と硬度
  • 優れた密着性

独自のプロセスウィンドウと、次の個別のスケーラビリティ

  • パルス長
  • パルス形
  • 電流密度

コーティングデザインにおいて、前例のないテクノロジーを切り開きます。個々のアプリケーション要件を正確に満たす、カスタマイズされたコーティングが S3p によって現実となりました。

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