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P3e パルス強化電子放出

P3e

この革新的な工程では事実上、従来の硬質コーティングを酸化アルミベースのコーティングと組み合わせることで、これまでにない範囲の幅広いコーティング特性を実現できます。その結果、これまでとは全く違う方法で高性能工具を設計できるようになりました。P3e® は、エリコンバルザースの特許技術です。

P3e®とは

バルザースは、P3e® コーティング技術を使用して、600 °C 以下の温度の PVD 工程において、硬質コランダムの酸化アルミベースのコーティングを蒸着した世界初の企業です。これまでは処理温度の高いCVD でのみこのようなコーティングは成膜可能でした。しかし、CVD 工程は超硬の強度によっては脆化するリスクがあるため、この方法で鋼をコーティングすることは実質上不可能です。P3e® は主に工具向けに開発されましたが、絶縁特性、耐高温および耐腐食性が必要とされる機械要素にも向いています。P3e® はエリコンバルザースの特許技術です。

P3e® の仕組み

P3e® テクノロジーは、アーク蒸着とパルス技術に基づいており、純酸素の中で使用できます。パルス電流は、電子放出とプラズマ密度を制御します。サポート層と酸化アルミベースレイヤーは、600°C を大きく下回る温度のワンパス工程でコーティングされます。P3e®テクノロジーでは、金属酸化物 (Al2O3, ZrO2, Cr2O3, Ta2O5など) や金属酸化混合物を蒸着させることができます。P3e® は、INNOVA および INGENIA コーティングシステムを使用するか、既に導入済のコーティングマシンにオンサイトでレトロフィットすることができます。

  1. 1.電子ビームソース
  2. 2.陰極アークソース向け酸素雰囲気
  3. 3.反応性ガス O2
  4. 4.アークソース (コーティング材とバッキングプレート)
  5. 5.部品 / 工具・金型
  6. 6.低電圧アーク放電
  7. 7.補助アノード
  8. 8.パルス陰極アーク蒸着
  9. 9.パルス化高電力基材電圧
  10. 10.真空ポンプ

 

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