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BALORA® HALONAは、需要の高いプラズマエッチング向けに設計されたPVDコーティングであり、卓越した耐薬品性と耐摩耗性を提供し、現在および将来の半導体ニーズに応えます。
性能の最大化 稼働時間の向上 コスト削減