| ソリューション | コーティング材 | コーティング技術 | 微小硬度 HIT[GPa] | 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール | 最高使用温度 [°C] | 処理温度 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| BALINIT DYLYN | a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 300 | < 220 |
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| BALINIT A | TiN | Arc | 30 +/- 3 | ~0.6 | 600 | < 500 |
半導体ウエハー、チャック、軸受け台
製品のひとつに、摩耗や汚染を低減し、電子特性を調整できる BALINIT DYLYN があります。他にも、エッチ耐性をもつ Y2O3 や、耐摩耗性と導電性に優れた TiN および CrN があります。