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ソリューション コーティング材 コーティング技術 微小硬度 HIT[GPa] 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール 最高使用温度 [°C] 処理温度
BALINIT DYLYN a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
BALINIT A TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500
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半導体ウエハー、チャック、軸受け台

製品のひとつに、摩耗や汚染を低減し、電子特性を調整できる BALINIT DYLYN があります。他にも、エッチ耐性をもつ Y2O3 や、耐摩耗性と導電性に優れた TiN および CrN があります。