半導体ウエハー、チャック、軸受け台

製品のひとつに、摩耗や汚染を低減し、電子特性を調整できる BALINIT DYLYN があります。他にも、エッチ耐性をもつ Y2O3 や、耐摩耗性と導電性に優れた TiN および CrN があります。