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ソリューション コーティング材 コーティング技術 微小硬度 HIT[GPa] 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール 最高使用温度 [°C] 処理温度
BALINIT DYLYN a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
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半導体シャワーヘッド

Y2O3 は不要な AlF 粒子の生成と汚染を防ぎます。BALINIT DYLYN は、特定のアプリケーションにおける放射率と合わせることもできます。