半導体向けコーティング 高感度の半導体産業向けの特別薄膜ソリューション

BALINIT DYLYN、ウエハー接触工具に加え、低摩擦、優れた密着性、高熱伝導性をもち、高感度の半導体ウエハーを汚染しない位置決めシステムなどのエリコンバルザースのダイヤモンドライクコーティング (DLC) ソリューション。
DLC コーティングで個別の要件を満たすほど、総所有コスト (TCO) を抑えることができます。弊社の技術や専門知識を使用して、DLC コーティングの特性をお客様の特別な要求に細かく合わせることができます。高硬度、低摩擦係数、優れた摩耗耐性により、粒子形成を大幅に削減できるため、高歩留まりで製造できます。これは、形状を小さくする上で特に重要な主要素です。再現可能なコーティング部品品質を保証することで、安定したプロセス信頼性を実現しています。
エリコンバルザースは半導体業界の非常に過酷なニーズを満たす半導体コーティングを専門としています。多数のソリューションの中からひとつだけ例をあげると、ウエハー、シャワーヘッド、真空ポンプ部品などのアプリケーションには、フッ素化化学エッチングに耐性のある新たなコーティング方法を使用できます。
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製品のひとつに、摩耗や汚染を低減し、電子特性を調整できる BALINIT DYLYN があります。他にも、エッチ耐性をもつ Y2O3 や、耐摩耗性と導電性に優れた TiN および CrN があります。
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BALINIT DYLYN コーティングは、汚染や可変伝導性を減らすために使用されます。 BALINIT A (TiN) は、DYLYN より伝導性が高い場合に使用されます。
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Y2O3 には、フッ化化学物質に対する優れた耐腐食性があります。CoO の抑制や金属汚染の防止などの利点があります。
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BALINIT DYLYN の特別なチューナビリティは、仕上げ装置から不要な静電気 (ESD) を排除します。
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Y2O3 は不要な AlF 粒子の生成と汚染を防ぎます。BALINIT DYLYN は、特定のアプリケーションにおける放射率と合わせることもできます。
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BALINIT FUTURA NANO は一般的に、真空真空スクリューポンプを摩耗から保護します。 Y2O3 は、フッ化化学物質に対するエッチ耐性が証明されており、部品のサービス寿命を高めます。