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BALORA HALONA

BALORA HALONA Hervorragender Korrosionsschutz für langlebige Halbleiterleistung

Halbleiter-Ätzkammer-Bauteil

BALORA® HALONA ist eine PVD-Beschichtung, die für anspruchsvolle Plasmaätzprozesse entwickelt wurde. Sie bietet außergewöhnliche chemische Beständigkeit und Abriebfestigkeit – und erfüllt damit die Anforderungen der heutigen und zukünftigen Halbleitertechnologie.

  • pdf (1.08 MB)

    Advanced coatings for critical semiconductor components

    Maximizing Performance. Boosting Uptime. Reducing Costs.

    Advanced coatings for critical semiconductor components

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