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METAPLAS DOMINO pica
METAPLAS DOMINO micra
METAPLAS DOMINO kila
METAPLAS DOMINO kila flex
METAPLAS DOMINO giga flex

Mehrere Module, angepasst an die individuellen Anforderungen und variabel zu einem großen Ganzen vereinbar – das ist die Grundlage der METAPLAS.DOMINO. Unsere Erfahrungen aus 30 Jahren im Bereich Werkzeugmaschinen sind eingeflossen, um modernste Technologien für die Dünnfilm-Beschichtung zu entwickeln.

Damit bietet Oerlikon Balzers leistungsstarke Systemlösungen und setzt neue Trends im Bereich der Beschichtungen. Das modulare und flexible Konzept der Dünnfilm-Beschichtungsanlage ermöglicht auch nachträgliche Erweiterungen und Upgrades.

  • Hohe Prozesssicherheit
  • Kurze Zykluszeiten
  • Niedrige Stückkosten

Hauptmodule

Arc

Die innovative APA-Verdampfertechnologie (Advanced Plasma Assisted) basiert auf der kathodischen Vakuum-Bogenverdampfung und bietet diverse Möglichkeiten, neue Schichtarchitekturen zu entwickeln.

Vorteile:

  • erhöhte Targetausnutzung führt zu geringeren Targetkosten
  • hohe Beschichtungsrate
  • anpassbare Magnetfelder
  • kurze Targetwechselzeiten
  • hohe Plasmadichte
  • weniger Makropartikel
  • exzellente Schichthaftung
HiPIMS

HiPIMS steht für High-Power Impulse Magnetron Sputtering.
 
Vorteile:

  • hohe Ionisierungsrate (mit Bogen vergleichbar)
  • hohe Leistungsdichte von 100 bis 1.000 W/cm2
  • sehr hohe Plasmadichte
  • Aufbau der Schichten über Parameter anpassbar
  • sehr glatte Beschichtungen
  • exzellente Schichthaftung
  • Abscheidung von dichten Schichten bei niedrigen Substrattemperaturen

Zusatzmodule

Sputter

Beim Sputtern (Zerstäuben) werden Atome aus einem Target durch Beschuss mit energiereichen Ionen (Argon) herausgelöst und in die Gasphase überführt. Durch Kombination mit weiteren Gasen wird das zerstäubte Material anschließend schichtweise auf einem Substrat aufgebracht.

Vorteile:

  • ein breites Spektrum an Materialien kann zerstäubt werden
  • unterschiedliche Verfahrensvarianten sind möglich
  • glatte Schichten
  • gute Schichthaftung bei Kombination mit dem leistungsstarken Ätzprozess AEGD
Nitrieren

Mit dem Nitriermodul lässt sich noch vor der eigentlichen PVD- und/oder PACVD-Beschichtung in nur einer Anlage und einer einzigen Charge ein Plasmanitrierschritt einfügen. Dabei wird eine unterstützende und gehärtete Oberfläche für die nachfolgende PVD/PACVD-Schicht erzeugt.

Vorteile:

  • optimale Einstellung für Werkzeuge und Komponenten
  • Wegfall von teuren Basismaterialien
  • deutlich erhöhte Standzeiten
  • alle Arten von PVD-Beschichtungen sind möglich
DLC

DLC steht für Diamond-Like Carbon und bezeichnet eine Gruppe von amorphen Kohlenstoffschichten mit besonders geringer Reibung. Mit dem DLC-Modul lassen sich verschiedene Arten von DLC-Beschichtungen mittels eines PVD- und/oder PACVD-Prozesses herstellen. Standardmäßig bestehen DLC-Beschichtungen aus metallfreien oder metallhaltigen Kohlenstoffschichten.

Vorteile:

  • exzellente Schichthaftung
  • hohe Verschleißfestigkeit
  • geringer Reibungskoeffizient
  • glatte Schichten

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