Choose your country / language

Semiconductor wafer transfer mechanisms

BALINIT DYLYN coatings are used for the reduction of contamination and tunable conductivity. 
BALINIT A (TiN) is used for higher conductivity than DYLYN.

Ratkaisu Pinnoitusmateriaali Pinnoitustekniikka Pinnoitteen kovuus HIT [GPa] Kitkakerroin (kuiva) terästä vasten Maksimi käyttölämpötila [°C] Prosessilämpötila [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
lataa
TiN Arc 30 +/- 3 0,6 600 < 500

Palautetta tai kysymyksiä? Ota meihin yhteyttä!

keyboard_arrow_up