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PACVD Deposición química en fase de vapor asistida por plasma

PACVD

¿Qué es el recubrimiento PACVD?

Oerlikon Balzers produce recubrimientos de carbono sin metales usando el proceso PACVD de alta frecuencia.

La configuración para este proceso es similar a la de la pulverización por bombardeo iónico, la cual a menudo se utiliza en combinación con CVD. En la PACVD un gas que contiene los elementos del recubrimiento se introduce en la cámara de vacío y se inicia una descarga alimentada por tensión de corriente alterna.

Esto crea átomos de carbono e hidrógeno libres (iones y radicales) que forman un denso recubrimiento sobre las herramientas y componentes. Las propiedades de cubrición pueden modificarse si se varía la tensión aplicada.

 

  1. 1. Argón
  2. 2. Gas reactivo
  3. 3. Componentes/herramientas
  4. 4. Fuente de evaporación magnetrón planar (material de recubrimiento)
  5. 5. Conexión de alta frecuencia
  6. 6. Bomba de vacío
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