BALORA® HALONA es un recubrimiento PVD diseñado para el grabado por plasma de alta exigencia, que ofrece una resistencia química y a la abrasión excepcional, satisfaciendo las necesidades actuales y futuras de los semiconductores.
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BALORA HALONA Protección Superior Contra la Corrosión para un Rendimiento Duradero de los Semiconductores
| BALORA HALONA | |
|---|---|
| Material de recubrimiento | YOF |
| Tecnología de recubrimiento | Magnetron PVD |
| Color del recubrimiento | clear |
| Dureza recubrimiento HIT [GPa]* | ~ 12 |
| Coeficiente de fricción (en seco) frente al acero** | ~ 0.6 |
| Temp. máx. de trabajo [°C]**** | > 1000 |
| Temperatura de proceso [°C] | < 250 |
| Observaciones generales | Todos los datos aportados son valores aproximados, dependen de la aplicación, el entorno y las condiciones de prueba. |
| *Dureza recubrimiento HIT [GPa] | Medido mediante nano indentación de acuerdo con la norma ISO 14577. Para multicapas, la dureza de las diferentes capas varía. La dureza puede adaptarse a la aplicación. |
| **Coeficiente de fricción (en seco) frente al acero | Determinado mediante “pin on disc” en seco con una bola de acero de acuerdo con ASTM G99. En uso prolongado los valores dados pueden superarse. |
| ****Temp. máx. de trabajo [°C] | Estos son valores aproximados en condiciones de laboratorio. Debido a las leyes de la termodinámica existe una dependencia de la presión en la aplicación. |