El equipo DOMINO kila flex cumple con todos los requisitos de máquina de producción flexible, orientado al cliente y de bajo mantenimiento que mantiene todas las puertas abiertas para posibles solicitudes especiales. La cámara de PVD octogonal de fácil acceso para su carga y descarga es una plataforma ideal para la automatización y la operación sencilla, con mantenimiento reducido. Además de tecnologías de arco y de sputtering, también pueden utilizarse sistemas precursores PACVD e integrarse en el sistema.
- APA Arc, HiPIMS sputtering o tecnología HI3 con hasta 6 flancos
- Nueva tecnología de grabado ADVANCED AEGD
- Cámara de doble pared y refrigerada con agua accesible de ambos lados con dos puertas de cámara
- Apertura y cierre automáticos de la puerta de carga para procesos automatizados
- Precursores para varios procesos PACVD, también en combinación con un proceso de nitruración
- Reequipación con varias tecnologías y sistemas de análisis (plasma) dependiendo de las necesidades del cliente
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LOADY (vehículo guiado automatizado) para la carga, el recubrimiento y la descarga automatizados, disponible como opción
