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METAPLAS.DOMINO kila

El equipo DOMINO kila se diseñó para la producción de recubrimientos de bajo coste basados en tecnologías de APA Arc y ADVANCED AEGD. Ofrece paquetes de tecnología estandarizados a un precio attractive y puede mejorarse con algunas tecnologías adicionales como el sputtering y la nitruración.

  • Tecnología APA con hasta 4 flancos
  • Tiempos de ciclo cortos y altas tasas de evaporación
  • Nueva tecnología de grabado ADVANCED AEGD
  • Es posible reequipar con nitruración y tecnología de sputtering
Propiedades METAPLAS.DOMINO kila
Volumen útil de recubrimiento Ø 620 mm x 700 mm
Módulos de recubrimiento disponibles Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
Evaporadores de arco APA 4 a 16
Fuentes de pulverización del magnetrón 1 a 4
Available power supplies DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Available BIAS Bipolar pulse, middle frequency
Limpieza de plasma All systems equipped with patented power etching process AEGD
Tabla de substrato estándar
(otras por solicitud)
9 ejes

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